薄膜偏置电阻测量

使用四点探针台，机器的臂可以快速更换模块化探头。探头固定针尖间距和压力参数。当探针点位于基板上时，带有内置弹簧的探针将同时收缩所有四根针。固定的向下压力增加了测量的稳定性。Keithley 2400/Keysight 2900用于测量。只需将V/I值的位置相互比较或与之前的V/I比较进行比较，而不需要乘以其他系数进行过于复杂的计算。您可以选择奕叶的软件来简化和自动化操作。

片电阻

体积电阻率

掺杂质量

金属化厚度

功率/噪声类型

V/I测量

其他高级应用程序类型：

高电阻，低电流

测量室温至200℃温度环境

超高温室温至1200℃

厌氧环境下

最小间距为10微米

大面积基板1200mm×900mm

仪器与软件相结合

自动位移测量