霍尔效应系统
探针台可以配备电磁场线圈,以建立电流可调的磁场环境,还可以安装加热和温度控制卡盘,以测量热环境中晶片的电信号。
简单型(高达1000高斯):线圈直接水平放置在卡盘下方,就像典型的探针台一样。
高级版本(高达2特斯拉/2000高斯):一对高强度磁场线圈配置为在左右轨道上滑动。装载待测物体时,必须先移开磁场,物体必须在垂直翻转的同时吸附在卡盘上。通过显微镜视野将探针放置在适当的位置,然后沿卡盘方向夹紧高强度线圈。用高斯计确认当前磁场大小后,可以开始电信号测量。