奕叶C-2 RF 射频探针台
C-2-RF系列探针台是世界上最小的探针台，配备了与奕叶全尺寸探针台相同的功能。它非常适合2英寸或更小、频率高达70GHz的样品的直流和射频应用。
该系统包括上升平台、同轴X-Y载物台和数字显微镜支架等组件。它是最小、最实惠的探针台。适用于4端口测量——北、南、东、西加两个直流偏置探针。
特点：
n U型卡盘固定被测物及校准片 n 价格实惠
n 适合小余2英寸的晶圆应用 n IV/CV 测量应用
n 射频测量(东/西/北/南配置) n 装有与全尺寸探针台同样的同轴滑台
n 单旋钮设计，可实现精细快速的单手操作X-Y轴移动
n 重心更低，更稳定 n 可在手套箱中使用
配件:
n 300倍数码相机 n 射频探针/线缆
n 低电流/电容探针 n 高压探针
规格:
n 2” 带真空开关的钢制D型卡盘 n 2”-2”行程线性无间隙同轴滑台
n 位置精度10微米 n 旋钮快速运动---每圈驱动25mm
n 卡盘轴心可无间隙倾斜15°
尺寸:
n 360mm 宽 x 330mm 深 x 320mm 高 n 22kg （含数码相机及4个针座）
探针台类型 | 卡盘X-Y线性移动 | 卡盘上下移动 | 卡盘倾斜 | 卡盘尺寸英尺 (mm) | 显微镜X-Y行程 | 射频U型卡盘 | 探针卡夹具 | 温度范围 |
C-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-8 (100-200) | 可选 | 可选 | 否 | 室温-700°C |
| C-2-RF | 是 | 可选 | 否 | 2 (50) | 否 | 是 | 否 | 室温-200°C |
EB-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 矩形 | 室温-700°C |
BD-Series | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 圆形 | 室温-700°C |
EB-mmWave | 是 | 是 | 可选 | 2-12 (50-300) | 是 | 可选 | 否 | 室温-600°C |
Photonic | 是 | 是 | 是 | 4-12 (100-300) | 是 | 是 | 否 | 室温-700°C |
Environmental | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-8 (100-200) | 是 | 可选 | 圆形 | -60°C-200°C |
Cryogenic | 是 | 否 | 否 | 1-2 (30-50) | 是 | 射频探针 | 否 | 4K-480K 室温-750°C |
