奕叶EB腔室环境探针台
EB腔室探针台为无氧环境提供了密封环境，也可作为法拉第笼用于极限探测。虽然DUT被封闭在腔内，但所有探测操作，如载物台移动、针座移动，仍然可以随时进行。使用此产品，您可以在测试中实现以下目标：
温度范围在-60˚C至400˚C之间（可选室温至500˚C）
弱电电流低至20 fA
射频探测高达67 GHz或更高，具体取决于VNA
特点:
n 高度稳定的大旋钮精密载物台
n 无间隙移动
n 可安装8个针座
n 备用针座位置
配件:
n 带温度控制器的热敏卡盘
n 抗震桌
n 屏蔽箱
应用:
n 基础IV/CV探测
n 射频，RF, 单宽带探测
n 高电压，高电流探测
| 规格 | |
| 探针台占地面积 | 760mm 宽 x 660mm 高 |
| 探针台高度 | 450mm (到台面)/700mm (到显微镜) |
| 探针台重量 | 80kg |
| 台板材质 | 镀硬铬钢 |
| 台板尺寸 | 内250mm, 外450mm |
| 台板容量 | 8路直流或4路射频4路直流 |
| 位置固定 | 磁铁开关 |
| 开关数量 | 4个 |
| 台板Z轴移动范围 | 6mm 气动 |
| 台板Z轴精度 | 1μm |
| 台板Z轴移动 | 齿轮和皮带（精细，杠杆（粗）） |
| 卡盘材质 | 不锈钢 |
| 卡盘滑动类型 | 大旋钮精密移动 |
| 卡盘行程范围 | 6" x 6" |
| 卡盘快速移动 | 快速Y形导轨移动，便于样品装载 |
| 卡盘移动精度 | 1 μm |
| 卡盘倾斜行程 | 20° |
| 卡盘倾斜精度 | 0.01° |
| 大旋钮卡盘移动 | 高精度直线运动 |
| 卡盘尺寸 | 6" (150mm) |
| 卡盘平面度 | 3 μm |
| 卡盘刚度 | 15 μm/10N@edge |
| 卡盘真空槽 | 中心, 0.5", 1.5", 2.5" (单独控制) |
| 卡盘偏置能力 | 高至2kV |
| 卡盘隔离 | 5 GΩ |
| 被测物尺寸范围 | 2mm - 150mm |
| 显微镜移动类型 | 高精度线性移动 |
| 显微镜移动精度 | 1 μm |
| 显微镜移动行程范围 | 2" x 2" |
| 显微镜倾斜（可选） | 35" |
探针台类型 | 卡盘X-Y线性移动 | 卡盘上下移动 | 卡盘倾斜 | 卡盘尺寸英尺 (mm) | 显微镜X-Y行程 | 射频U型卡盘 | 探针卡夹具 | 温度范围 |
C-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-8 (100-200) | 可选 | 可选 | 否 | 室温-700°C |
| C-2-RF | 是 | 可选 | 否 | 2 (50) | 否 | 是 | 否 | 室温-200°C |
EB-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 矩形 | 室温-700°C |
BD-Series | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 圆形 | 室温-700°C |
EB-mmWave | 是 | 是 | 可选 | 2-12 (50-300) | 是 | 可选 | 否 | 室温-600°C |
Photonic | 是 | 是 | 是 | 4-12 (100-300) | 是 | 是 | 否 | 室温-700°C |
Environmental | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-8 (100-200) | 是 | 可选 | 圆形 | -60°C-200°C |
Cryogenic | 是 | 否 | 否 | 1-2 (30-50) | 是 | 射频探针 | 否 | 4K-480K 室温-750°C |
