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SR/KSR系列四点探针台
奕叶四点探针台使用四个共线接触探针来确定晶圆或薄膜的薄层电阻。该方法使用四端子传感或“开尔文”法,通过使用单独的结来测量电压和电流,而不是通过相同的连接。因此,内部电阻、引线或接触电阻被降低,这样就可以读取很低的欧姆值。

特点: 

n 真正的垂直上下                                      n 装有独立弹簧                                                                n 引脚间距相同  

n 极高的可重复性                                      n 探针头E-Z转换                                                              n 探针Z轴位移可在顶部调节

n 后侧有坚固的馈通面板                           n 引线可选择香蕉/BNC/三轴母头                                     n 可适用卡盘快速移动

n 可适用于热敏卡盘                                  n 可适用于屏蔽箱                                                            n 可选直接4", 6", 8" 

n 可适用于其他探针头


配件: 

n 热敏卡盘                                                 n 真空卡盘

n 快速移动卡盘                                          n 屏蔽箱

n 试验台                                                     n 带脚轮的仪器箱


需求: 

n 电流源  

n 电压计


应用: 

n 薄层电阻率探测                                      n 片电阻率探测  

n 掺杂质量探测                                          n 金属化厚度探测  

n P/N类型探测                                           n V/I 测量

规格: 

n 卡盘直径 4", 6", 8"                                                           n 探头上下10mm  

n Z轴探测精度1微米                                                           n 探针材质碳化钨  

n 探针间距40mil, 50 mil, 62.5 mil                                       n 探针弹簧力度 45g, 85g, 180g  

n 探针半径 40.6 micron


KSR-4:

n 卡盘尺寸: ~ 12″

n 卡盘形状可选矩形/圆形

n Z轴上下行程: 30mm

n Z轴精度: 20um

n 1个 4点针头

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