GGB的校准片是准确、易于使用的校准片及校准系数,而且详细说明可使您能够在测量系统(网络分析仪+电缆+探头)产生与标准不同的读数时对其进行校正。
校准微波测量系统的典型元件包括开路、短路、匹配负载和通路。这四种元件的电特性彼此不同,因此每个元件都是整个校准过程的重要组成部分。原则上,可以采用任何一组标准,然而,标准越相同,校准过程就越不准确,这反过来又导致晶圆上测试不准确。我们精心制作的校准片,如果使用得当可以确保您获得准确的晶圆上测试结果。
如何选择正确的校准基板:
确定您的探针覆盖区和间距(尖端间距);
确定哪种校准类型适合您的应用(SOLT、LRL/TRL或LRM/TRM);
使用《校准片选择指南》,选择与您的探针覆盖区、推荐间距范围和首选校准类型相匹配的校准片。
| 描述 | |
| CS-5 GSG 校准片 | |
| CS-8 GSG 校准片 | |
| CS-9 GSG 校准片 | |
| CS-10 GSG 校准片 | |
| CS-15 GSG 校准片 | |
| CS-8 GS-SG 校准片 | |
| CS-11 GS-SG 校准片 | |
| CS-14 GS-SG 校准片 | |
| CS-17 GS-SG 校准片 | |
| CS-15 100GHz 校准片 |
校准片选择指南 | |||||
型号 | Pad 尺寸 (微米) | 校准类型 | 覆盖区 | 建议间距范围 | 可接受的间距范围 |
CS-5 | 50 X 50 | SOLT, LRL, | GSG | 75 - 250 | 75 -250 |
CS-9 | 100 X 100 | SOLT, LRL, | GSG | 250 - 600 | 150 - 600 |
CS-10 | 150 X 150 | SOLT, LRM | GSG | 600 - 1250 | 225 - 1250 |
CS-18
| 300 X 300 | SOLT, LRM | GSG | 1250 - 2540 | 500 - 2540 |
CS-8 | 50 X 50 | SOLT, LRM | GS, SG | 50 - 200 | 50 -300 |
CS-14 | 100 X 100 | SOLT, LRM | GS, SG | 200 - 400 | 150 - 600 |
CS-11 | 150 X 150 | SOLT, LRM | GS, SG | 400 - 1250 | 175 - 1250 |
CS-17 | 300 X 300 | SOLT, LRM | GS, SG | 750 - 2540 | 450 - 2540 |
用于110GHz以上的特殊校准片设计 | |||||
型号 | Pad 尺寸 (微米) | 校准类型 | 覆盖区 | 建议间距范围 | 可接受的间距范围 |
CS-15 | 25 X 25 | SOLT, LRL, | GSG | 40 - 150 (SOLT) | 40 - 150 |
差分校准片选择指南 | |||||
型号 | Pad 尺寸 (微米) | 校准类型 | 覆盖区 | 建议间距范围 | 可接受的间距范围 |
CS-2-50 | 25 X 25 | SOLT, LRL | GSGSG | 50 | 45-55 |
CS-2-75 | 25 X 25 | SOLT, LRL | GSGSG | 75 | 70-80 |
CS-2-100 | 50 X 50 | SOLT, LRL | GSGSG | 100 | 90 - 110 |
CS-2-125 | 50 X 50 | SOLT, LRL | GSGSG | 125 | 115 - 135 |
CS-2-150 | 50 X 50 | SOLT, LRL | GSGSG | 150 | 140 -160 |
CS-2-200 | 50 X 50 | SOLT, LRL | GSGSG | 200 | 190 - 210 |
CS-2-225 | 50 X 50 | SOLT, LRL | GSGSG | 225 | 215 - 235 |
CS-2-250 | 50 X 50 | SOLT, LRL | GSGSG | 250 | 240 -260 |
CS-2-300 | 100 X 100 | SOLT, LRL | GSGSG | 300 | 275 - 325 |
CS-2-350 | 100 X 100 | SOLT, LRL | GSGSG | 350 | 325 - 375 |
CS-2-400 | 100 X 100 | SOLT, LRL | GSGSG | 400 | 375 - 425 |
CS-2-450 | 100 X 100 | SOLT, LRL | GSGSG | 450 | 425 - 475 |
CS-2-500 | 100 X 100 | SOLT, LRL | GSGSG | 500 | 490 - 510 |
CS-2-750 | 150 X 150 | SOLT, LRL | GSGSG | 750 | 700 - 800 |
CS-2-1000 | 150 X 150 | SOLT, LRL | GSGSG | 1000 | 990 - 1010 |
CS-2-1250 | 150 X 150 | SOLT, LRL | GSGSG | 1250 | 1225 - 1275 |
GSSG | |||||
型号 | Pad 尺寸 (微米) | 校准类型 | 覆盖区 | 建议间距范围 | 可接受的间距范围 |
CS-3-50 | 25 X 25 | SOLT, LRM | GSSG | 50 | 45-60 |
CS-3-75 | 25 X 25 | SOLT, LRM | GSSG | 75 | 65-85 |
CS-3-100 | 50 X 50 | SOLT, LRM | GSSG | 100 | 85 - 115 |
CS-3-125 | 50 X 50 | SOLT, LRM | GSSG | 125 | 110 - 140 |
CS-3-150 | 50 X 50 | SOLT, LRM | GSSG | 150 | 135 -165 |
CS-3-175 | 50 X 50 | SOLT, LRM | GSSG | 175 | 160 - 190 |
CS-3-200 | 50 X 50 | SOLT, LRM | GSSG | 200 | 185 - 215 |
CS-3-250 | 100X 100 | SOLT, LRM | GSSG | 250 | 200 - 300 |
CS-3-350 | 100 X 100 | SOLT, LRM | GSSG | 350 | 300 - 400 |
CS-3-450 | 100 X 100 | SOLT, LRM | GSSG | 450 | 400 - 500 |
CS-3-500 | 150 X 150 | SOLT, LRM | GSSG | 500 | 425 - 525 |
CS-3-600 | 100 X 100 | SOLT, LRM | GSSG | 600 | 550 - 625 |
CS-3-800 | 300 X 300 | SOLT, LRM | GSSG | 800 | 600 - 1000 |
CS-3-1000 | 300 X 300 | SOLT, LRM | GSSG | 1000 | 800 - 1075 |
CS-3-1250 | 300 X 300 | SOLT, LRM | GSSG | 1250 | 1050 - 1325 |
SGS | |||||
型号 | Pad 尺寸 (微米) | 校准类型 | 覆盖区 | 建议间距范围 | 可接受的间距范围 |
CS-4-100 | 50 X 50 | SOLT, LRM | SGS | 150 | 90 - 110 |
CS-4-150 | 50 X 50 | SOLT, LRM | SGS | 150 | 140 - 160 |
CS-4-250 | 100 X 100 | SOLT, LRM | SGS | 250 | 225 - 275 |
CS-4-300 | 100 X 100 | SOLT, LRM | SGS | 300 | 275 - 325 |
CS-4-350 | 100 X 100 | SOLT, LRM | SGS | 350 | 325 - 375 |