特点:
n 紧凑型尺寸1200mm X 900mm n 带NW25端口的真空室
n 精度10µm的针座 n 射频测量(东/西配置)
n 光学测量 n 10-3Torr真空环境
n 真空环境可升级为0-6Torr n 标准40mm卡盘
n 便于使用的显微镜导轨 n 显微镜X-Y +/-25mm平移
配件:
n 可倾斜的10µm射频针座
n 射频/光纤探测
n 可升级为三轴卡盘
n 热敏卡盘
n 10-6 Torr 真空泵
规格:
n 最多6个NW25针座端口 n 标准40mm卡盘, 可选50mm卡盘
n 可选三轴卡盘 n CG-196 最低温度80K
n CG-263 最低温度4K n 50升液氮罐
n 标配抗震桌 n 三轴直流或射频针座
尺寸:
n 1200mm 宽 x 900mm 深 x 900 高
n 装运重量450Kg
n 重量约340Kg
探针台类型 | 卡盘X-Y线性移动 | 卡盘上下移动 | 卡盘倾斜 | 卡盘尺寸英尺 (mm) | 显微镜X-Y行程 | 射频U型卡盘 | 探针卡夹具 | 温度范围 |
C-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-8 (100-200) | 可选 | 可选 | 否 | 室温-700°C |
| C-2-RF | 是 | 可选 | 否 | 2 (50) | 否 | 是 | 否 | 室温-200°C |
EB-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 矩形 | 室温-700°C |
BD-Series | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 圆形 | 室温-700°C |
EB-mmWave | 是 | 是 | 可选 | 2-12 (50-300) | 是 | 可选 | 否 | 室温-600°C |
Photonic | 是 | 是 | 是 | 4-12 (100-300) | 是 | 是 | 否 | 室温-700°C |
Environmental | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-8 (100-200) | 是 | 可选 | 圆形 | -60°C-200°C |
Cryogenic | 是 | 否 | 否 | 1-2 (30-50) | 是 | 射频探针 | 否 | 4K-480K 室温-750°C |