奕叶BD系列- 分析型探针台BD-4, BD-6, BD-8, BD-12
奕叶BD系列是奕叶公司的顶级探针台。它的功能和基础是可信赖的，可以在直流和射频应用中提供可重复、准确的测量。
带真空卡盘的分析探针台，晶圆直径适用于4英寸、6英寸、8英寸、12英寸
用于高精度的大旋钮载物台
无间隙运动
最多可安装12个针座
兼容4.5英寸探针卡
压板高度可调
压板上/下线性可调
针座备用位置
显微镜可倾斜用于E-Z镜头切换
不锈钢或镀金真空卡盘
特点:
n 4”, 6”, 8” & 12” 卡盘 n 同轴驱动卡盘载物台
n 可升级射频探测场 n 放大倍数20X-4000X
n 无间隙行程 n RF探测场可升级为E-Z旋转物镜的可上下移动的显微镜（倾斜）
配件:
n 射频探针/线缆 n 有源探针 n 低电流/电容探针 n 高压探针
n 激光切割机 n 超声波切割机 n 闭路电视 n 显微照片
n 探针卡夹具 n 封装设备夹具 n PCB板夹具 n 热敏卡盘
n 液晶套件 n 抗震桌 n 屏蔽箱 n 试验台
n 带脚轮的仪器箱 n 显微镜快速升降 n 暗场/相差显微镜检测 n 真空卡盘模式
n 镀金卡盘
规格:
n 6” 钢制真空卡盘 n 卡盘载物台行程6”x6”
n 卡盘倾斜角度0-30° n 卡盘上下4mm调节
n 12个针座压板 n 显微镜滑台行程1”x1”
尺寸:
n 660mm 宽 x 660mm 深 x 700mm 高 （含显微镜） n 60kg （含显微镜）
需求:
n 电源110VAC, 60Hz, 220VAC, 60Hz n 真空泵 250mm Hg, 7 litre/min
探针台类型 | 卡盘X-Y线性移动 | 卡盘上下移动 | 卡盘倾斜 | 卡盘尺寸英尺 (mm) | 显微镜X-Y行程 | 射频U型卡盘 | 探针卡夹具 | 温度范围 |
C-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-8 (100-200) | 可选 | 可选 | 否 | 室温-700°C |
| C-2-RF | 是 | 可选 | 否 | 2 (50) | 否 | 是 | 否 | 室温-200°C |
EB-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 矩形 | 室温-700°C |
BD-Series | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 圆形 | 室温-700°C |
EB-mmWave | 是 | 是 | 可选 | 2-12 (50-300) | 是 | 可选 | 否 | 室温-600°C |
Photonic | 是 | 是 | 是 | 4-12 (100-300) | 是 | 是 | 否 | 室温-700°C |
Environmental | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-8 (100-200) | 是 | 可选 | 圆形 | -60°C-200°C |
Cryogenic | 是 | 否 | 否 | 1-2 (30-50) | 是 | 射频探针 | 否 | 4K-480K 室温-750°C |
