C系列光学探针台
C系列光学探针台是C系列探针台的扩展，集成了专用于光纤对准的针座。在滚动轴和俯仰轴上控制光纤，小心地将光纤与样品对齐。使用EB-005 200 TPI针座，可以以0.3µm的分辨率进行调整。边缘发射设置可使用单独的支架。
该系列有许多型号，从2英寸卡盘到8英寸C2、C4、C6和C8。
标配10微米精度X-Y卡盘台进行对准，硬铬板压板、真空卡盘和防振支架，使其与价格高出数倍的探针台竞争。4英寸及以上的尺寸特点是卡盘上下移动，配备三目变焦显微镜。
特点:
n 卡盘尺寸4”, 6” & 8” n 线性X-Y 移动滑台, 2”-2”, 3”-3”, 4”-4”
n 精密显微镜X-Y载物台移动±25mm n 0至90°灵活定位光纤
n 光纤X-Y-Z调节、倾斜调节和偏移调节 n 镀硬铬压板
n 线性无间隙同轴X-Y滑台 n IV/CV 测量应用
n 射频探测使用 (东/西向配置) n 适用于实验室及净室
n 防震底座 n 重心更低，更稳定
n 一只手就可以控制调节X-Y轴的旋钮 n 一种为精准及快速定位而设计的滑台
配件:
n 射频探针/线缆 n 低电流/电容探针 n 高压探针
n 加热卡盘 n 抗震桌 n 屏蔽箱
规格:
n 卡盘倾斜微调>0.01° n 卡盘上下移动4mm
n 带独立真空开关的钢制卡盘 n 线性无间隙X-Y行程
n 位置精度10微米 n 旋钮快速运动---每圈驱动25mm
尺寸:
n C-6 = 515mm 宽 x 410mm 深 x 550mm 高 （含显微镜） 23KG （含显微镜）
n C-4 = 480mm 宽 x 410mm 深 x 550mm 高 （含显微镜） 23KG （含显微镜）
探针台类型 | 卡盘X-Y线性移动 | 卡盘上下移动 | 卡盘倾斜 | 卡盘尺寸英尺 (mm) | 显微镜X-Y行程 | 射频U型卡盘 | 探针卡夹具 | 温度范围 |
C-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-8 (100-200) | 可选 | 可选 | 否 | 室温-700°C |
| C-2-RF | 是 | 可选 | 否 | 2 (50) | 否 | 是 | 否 | 室温-200°C |
EB-Series | 是 | 是 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 矩形 | 室温-700°C |
BD-Series | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-12 (100-300) | 是 | 可选 | 圆形 | 室温-700°C |
EB-mmWave | 是 | 是 | 可选 | 2-12 (50-300) | 是 | 可选 | 否 | 室温-600°C |
Photonic | 是 | 是 | 是 | 4-12 (100-300) | 是 | 是 | 否 | 室温-700°C |
Environmental | 是 | 平台上下移动 | 可选 | 4-8 (100-200) | 是 | 可选 | 圆形 | -60°C-200°C |
Cryogenic | 是 | 否 | 否 | 1-2 (30-50) | 是 | 射频探针 | 否 | 4K-480K 室温-750°C |
